R-23作為廣泛使用的超低溫制冷劑，由于HFC-23 良好的綜合性能，使其成為一種非常有效和安全的CFC-13（R13、R-13、Freon 13、氟利昂-13）和R-503的替代品，主要應用于環境試驗箱/設備（冷熱沖擊試驗機）、凍干機/冷凍干燥機、超低溫冰箱或冷柜、血庫冰箱、生化試驗箱等深冷設備中（包括科研制冷、醫用制冷等），多見用于這些復疊式制冷系統的低溫級。三氟甲烷同時還可用作氣體滅火劑，是哈龍1301的理想替代品，具有清潔、低毒、滅火效果好等特點。