潔凈室中高效過濾器的安裝密封，是確保潔凈室潔凈度的關(guān)鍵因素之一，因此，在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)該選擇先進(jìn)的密封技術(shù)和可靠的密封方法。

    (1)接觸填料密封 密封用填料有固體密封墊(如氯丁橡膠板、閉孔海綿橡膠板等)和液體密封膠(如硅橡膠、氯丁橡膠、天然橡膠等)。固體密封墊一般采用螺栓螺母機(jī)械壓緊的密封方法。橡膠板的壓縮量一般為30%一50%。液體密封膠是靠填充和粘附方法密封。該密封方法是一般潔凈室最常用的密封方法。

    (2)液槽刀口密封 在槽形框架中注入一定高度的非牛頓密封液體(如氯異丁烯等)，高效過濾器的刀口插入密封液里，使兩側(cè)的空氣通路受到阻隔，達(dá)到密封目的。這種密封方法可靠性強(qiáng)，過濾器拆裝方便，通常應(yīng)用于5級(jí)、4級(jí)和更高級(jí)別潔凈度的潔凈室密封。

    (3)負(fù)壓漏泄密封 這種密封方法的原理是正壓空間泄漏的污染空氣，人為疏導(dǎo)到工作區(qū)外的負(fù)壓空間，確保工作區(qū)不受污染。這種密封方法通常用于小規(guī)格的潔凈室的密封。高效過濾器密封方法的示意圖見圖44-14。