真空測量是指對真空度的測量,而真空的高低通常是用氣體的壓力來表示的。在真空中遇到的氣體壓力都很低,要直接測量它的壓力效應是極不容易的。因此,測量真空度的辦法往往是先在氣體中引起一定的物理現象,然后測量這個過程中與氣體壓強有關的物理量,再設法確定出真實壓力來。例如壓縮式真空計就
。240·
是先將氣體壓縮,使其壓力增高,測出此增高后的壓力,再設法計算出原來的壓力。
任何具體的物理現象與壓力的關系,都是在某一壓力范圍內才最顯著,超出這個范圍,關系就變得微弱了。因此任何方法都有一定的測量范圍。表8-1列出了一些真空計的測量范圍。
在凍干機中最常用的真空計有彈性元件真空計、熱傳導真空計和電容式真空計。