隔膜真空閥圖414所示的為隔膜真空閥的結構圖。它主要由閥體、隔膜、閥桿和手輪組成。

閥體通常為鋁合金鑄件經機械加工而成。在閥體兩頭有連接法蘭供與系統連接用。閥體內部有精加工的閥座，作為切斷管路時的密封面。

閥的隔膜由橡膠或金屬薄片制成。其中心固定在閥芯上，邊緣固定在閥體和閥蓋之間。利用閥桿上下移動，帶動閥芯和隔膜上下運動，使閥開關。

用橡膠隔膜制成的隔膜閥，由于橡膠的放氣率和滲氣率都較

大，所以只能用于低真空范圍。若用氟橡膠或金屬隔膜，則可用于較高的真空系統中。凍干機的干燥室、冷阱的放氣閥、放水閥、進水閥等口徑較小的閥門，常采用真空隔膜閥。為了降低造價，在這些地方也允許采用球閥，但后者的密封性能不及前者。