真空泵是用來抽除密封容器氣體而獲得一定真空度的基本設備之一，它可單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子雙等的前級泵。

1)保持泵的清潔，防止雜物進入泵內。

2)保持油位。

3)存放不當，水分或其他揮發性物質進入泵內而影響極限真空時，可開氣鎮閥凈化，若數小時無效，則應更換泵油。換油方法:先開泵運轉約半小時，使油變稀，停泵。從放油孔放油，再敞開進氣口運轉1~2min。在此期間可從吸氣口緩慢加入少量的清潔泵油，以更換泵腔內存油。

4)不可混入柴油、汽油等其他飽和蒸氣壓較大的油類，以免降低極限真空。拆洗泵內零件時，一般用紗布擦拭即可，有金屬碎屑、沙泥或其他有害物質時，可用汽油等擦洗，干燥后方可裝配。